Çin’in Gizli EUV Makinesi Tartışma Yarattı: Prototip Henüz Tek Bir Çip Üretemedi
Yarı iletken dünyasında büyük yankı uyandıran bir iddia, yapılan incelemeler sonrası farklı bir tablo ortaya koydu. Çin’de gizli bir laboratuvarda ASML imzalı EUV litografi makinesinin kopyalandığı yönündeki söylentiler, sektörün dikkatini bu alana çevirdi. Ancak teknik analizler, söz konusu sistemin çalışır durumda olmadığını gösterdi. Uzmanlar, ortaya çıkan yapının tek bir çip bile üretemediğini belirtiyor.
EUV Teknolojisinin Karmaşıklığı Taklit Edilemiyor
Tom’s Hardware kaynaklı bilgilere göre Çin’de kurulduğu öne sürülen EUV sistemi, farklı kaynaklardan toplanan uyumsuz parçaların bir araya getirilmesiyle oluşturuldu. İkinci el ekipman satışları ile çevrim içi yedek parça pazarlarından temin edilen bileşenler, bütüncül bir sistem ortaya koymadı. Teknik ekipler, bu prototipin işlevsel bir litografi süreci yürütemediğini ifade etti.
ASML’nin Twinscan NXE platformu, tek bir tasarıma bağlı kalınarak geliştirilen bir makine olarak öne çıkmıyor. Şirket, ABD, Avrupa ile Japonya merkezli binlerce tedarikçiyle uzun yıllara yayılan bir araştırma geliştirme süreci yürüttü. Her firma, yalnızca kendi bünyesinde bulunan hassas bileşenleri sisteme kazandırdı. Bu yapı, EUV teknolojisini dünyanın en karmaşık üretim ekosistemlerinden biri hâline getirdi.
EUV sisteminin merkezinde yer alan ışık kaynağı, ASML’nin 2012 yılında bünyesine kattığı Cymer tarafından geliştirildi. Bu sistem, karbondioksit lazerle oluşturulan plazma üzerinden 13.5 nanometre dalga boyunda ışık üretiyor. Kalay damlacık üreticisi, lazer hedefleme ünitesi, atık kontrol sistemi ile toplayıcı ayna bir arada çalışıyor. Uzmanlar, bu yapının yalnızca donanımla değil yazılım ile de kontrol edildiğini vurguluyor.
Her EUV makinesi, Carl Zeiss tarafından üretilen molibden silikon katmanlı aynalara dayanıyor. Bu aynalar, aşırı morötesi ışığı kayıpsız yansıtabilmek için atomik hassasiyetle kaplanıyor. Dalga cephesi doğruluğu nanometrenin çok altında tutuluyor. Zeiss, bu seviyede optik üretimini gerçekleştirebilen tek şirket olarak biliniyor. Uzmanlar, bu teknolojinin kısa sürede taklit edilemeyeceğini belirtiyor.
ASML mühendisliği, parçaların bir araya getirilmesinden çok daha karmaşık bir yapıyı temsil ediyor. Şirket, motorlardan sensörlere kadar binlerce alt sistemi tek bir platformda yönetiyor. Bu bilgi birikimi, ASML çalışanları ile iş ortaklarının uzmanlığına dayanıyor. İleri araştırma merkezleriyle yürütülen iş birlikleri, ihracat kısıtlamaları nedeniyle Çinli firmalara kapalı durumda bulunuyor.
Çinli çip üreticileri, EUV yerine daha eski derin morötesi litografi sistemleri üzerinde iyileştirmeler yapıyor. SMIC gibi firmalar, yenilenmiş DUV modülleri ile ikinci el performans verilerini kullanarak verim artışı sağlamaya çalışıyor. Bu yöntemler, üretim süresini uzatsa da modern EUV seviyesine yaklaşamıyor.
Bazı söylentiler, bir Cymer EUV ışık kaynağının sevkiyat sırasında ele geçirilerek incelendiğini öne sürdü. Ancak uzmanlar, tekil bileşenlerin işlevsel bir sistem kurmak için yeterli olmayacağını vurguluyor. Entegre yazılım ile tedarik zinciri desteği olmadan EUV donanımı çalışmıyor.
